5 3、真空蒸发镀膜机5，3 1 真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定，1。设备的主泵为扩散泵时.应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井 2.在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片，3 真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理,4，应装好真空测量规管且与真空计连接好、5，设备接地电阻应小于4Ω,5,3.2，真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定。1、应检测设备管路接口是否漏气 具备加热功能的应先空载烘烤、2。应核查设备机械真空泵,分子泵,低温泵等是否运转正常，应检测极限真空,漏气率是否满足要求,3.应检查紧急按钮是否有效 4 制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象，5。应将待镀工件清洗干净 烘干。装在机内的载片台上，应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料，6。关上镀膜室大门启动真空泵时。运行状态应符合下列规定、1,噪声。振动应无异常,2，真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2.10 4Pa以下,极限真空的压力值可达到2,10.5Pa,3，应延长真空泵的抽气时间。7,应通过变频器调频将工件架调节转速、8、应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度、运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力、9，应调整电子枪的阴极电流 先预熔镀膜材料.当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流、10,应设置蒸发工艺参数，镀膜开始时,应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板.然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零,11、在工件加热烘烤过程中,设备传动部分应运转自如.应无卡滞.松动现象，12。取出工件后，测试膜层的厚度及均匀性.膜层附着力应满足设备指标要求、