5、3.真空蒸发镀膜机5.3、1，真空蒸发镀膜机的安装应符合下列规定。1，设备的主泵为扩散泵时.应在泵的进气口一侧安装油蒸气捕集井,2 在镀膜过程中发生射线的设备应加装防射线镜片,3、真空室内的部件在安装前应进行清洁和干燥处理、4.应装好真空测量规管且与真空计连接好。5,设备接地电阻应小于4Ω。5，3。2.真空蒸发镀膜机的调试及试运行应符合下列规定。1、应检测设备管路接口是否漏气。具备加热功能的应先空载烘烤.2、应核查设备机械真空泵.分子泵.低温泵等是否运转正常,应检测极限真空。漏气率是否满足要求。3。应检查紧急按钮是否有效,4。制冷系统和输液系统应连续运行24h无渗漏现象,5.应将待镀工件清洗干净 烘干。装在机内的载片台上,应在电子束蒸发枪坩埚内装入镀膜材料、6、关上镀膜室大门启动真空泵时、运行状态应符合下列规定 1,噪声、振动应无异常、2。真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2,10 4Pa以下、极限真空的压力值可达到2。10,5Pa.3.应延长真空泵的抽气时间.7,应通过变频器调频将工件架调节转速。8 应向镀膜室内充入反应气体并维持所需的真空度,运行中还应定期测量真空管道及镀膜室等部位的压力 9.应调整电子枪的阴极电流。先预熔镀膜材料。当镀膜材料充分预熔后应加大阴极电流、10.应设置蒸发工艺参数 镀膜开始时.应根据膜厚仪读数达到所需镀膜厚度后关闭蒸发挡板、然后应将电子束蒸发枪阴极电流调至零,11，在工件加热烘烤过程中 设备传动部分应运转自如,应无卡滞、松动现象，12 取出工件后。测试膜层的厚度及均匀性.膜层附着力应满足设备指标要求.