5.2，磁控溅射镀膜机5。2 1 磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定。1,循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m,射频磁控溅射设备的冷却水路进。出口水管的绝缘管长度不应小于5m，2 循环冷却水温度应在15.25、压力应满足设备使用要求。3、设备接地电阻应小于4Ω.5,2 2、磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定，1、待溅射基板应清洗,并应在烘干后安装到机内的载片台上。2、设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常.3.应检查各运动部件是否正常，并应对各运动部件进行位置校正、4 应安装好溅射靶材。靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ。5。应检测设备管路接口是否漏气、具备加热功能的管路应先空载烘烤，6.启动机械泵。分子泵、低温泵时，运行状态应正常、噪声 振动应符合要求 真空室真空度可在规定时间内降到规定值.本底真空的压力值应控制在2。10，4Pa以下 极限真空度应可达到4.10、5Pa、7。设备正常运行时.溅射室的极限压力增长不得超过3,8，应通入工艺气体并确保送气量平稳 9 应按规定设置溅射程序及溅射功率。溅射气压,10,应在保证溅射室真空度、设备正常起辉的情况下运行溅射程序、11.在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂,并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置，校正完成后。应进行不间断的基板传送测试,传送路径应包括所有腔室、12。溅射程序自动完成后取出已溅膜基板 测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求