5 2 磁控溅射镀膜机5.2 1、磁控溅射镀膜机的安装应符合下列规定,1.循环冷却水路进，出口水管的绝缘管长度不应小于1m，射频磁控溅射设备的冷却水路进,出口水管的绝缘管长度不应小于5m 2。循环冷却水温度应在15 25。压力应满足设备使用要求.3，设备接地电阻应小于4Ω,5、2 2.磁控溅射镀膜机的调试及试运行应符合下列规定.1、待溅射基板应清洗。并应在烘干后安装到机内的载片台上 2，设备通电后,应检查设备操作软件是否工作正常 3,应检查各运动部件是否正常。并应对各运动部件进行位置校正 4,应安装好溅射靶材 靶对机壳的绝缘电阻不得小于1MΩ。5 应检测设备管路接口是否漏气，具备加热功能的管路应先空载烘烤 6。启动机械泵。分子泵、低温泵时。运行状态应正常、噪声.振动应符合要求 真空室真空度可在规定时间内降到规定值，本底真空的压力值应控制在2.10.4Pa以下，极限真空度应可达到4 10.5Pa.7,设备正常运行时、溅射室的极限压力增长不得超过3，8.应通入工艺气体并确保送气量平稳，9,应按规定设置溅射程序及溅射功率、溅射气压、10.应在保证溅射室真空度.设备正常起辉的情况下运行溅射程序,11.在机械臂自动传送基板时检查传送机械臂。并应校正机械臂到各个腔室以及取送基板的位置，校正完成后 应进行不间断的基板传送测试,传送路径应包括所有腔室 12,溅射程序自动完成后取出已溅膜基板 测试膜层的膜厚均匀性及附着力应满足要求.