5.7,显,影。台5,7、1、显影台属于大型精密微组装设备 体积大.质量重。室内搬运就位应使用载量足够的叉车、搬运气垫等机械设施，不得仅依靠人力，以免造成人身或设备损伤.1、搬运时防撞防抖 不能直接拖动。以防止部件损坏。2.为保证显影的均匀性、安装时真空吸盘应呈水平状态.3。由专业人员为显影。清洗腔安装排风系统、防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响 5，设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放。工艺污水可能带有腐蚀性、为避免污水对周围环境造成污染，或是对操作人员造成伤害.设备必须接好通向废液处理池的管道,并将设备的排液管路可靠地接入废液管道 本款为强制性条款、设备安装人员必须严格执行.6、为避免造成污染和设备损伤 储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液.5、7，2、本条规定了显影台的调试及试运行要求，2、对于负胶显影。显影液，漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上.对于正胶显影、显影液.漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上，7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片，否则会造成基片和机械手损坏.