5，7。显，影.台5、7 1.显影台属于大型精密微组装设备,体积大。质量重，室内搬运就位应使用载量足够的叉车。搬运气垫等机械设施，不得仅依靠人力,以免造成人身或设备损伤。1 搬运时防撞防抖 不能直接拖动，以防止部件损坏,2。为保证显影的均匀性、安装时真空吸盘应呈水平状态,3、由专业人员为显影，清洗腔安装排风系统.防止操作时显影液对人体的伤害和对净房气氛的影响，5.设备工作时产生的大量工艺污水需及时进行排放，工艺污水可能带有腐蚀性,为避免污水对周围环境造成污染,或是对操作人员造成伤害。设备必须接好通向废液处理池的管道,并将设备的排液管路可靠地接入废液管道.本款为强制性条款,设备安装人员必须严格执行。6，为避免造成污染和设备损伤,储液罐及喷溅系统安装好后不应漏液,5、7。2.本条规定了显影台的调试及试运行要求,2、对于负胶显影.显影液.漂洗液应以均匀雾状喷洒到基片上 对于正胶显影、显影液 漂洗液应以喷淋方式喷洒到基片上.7、设备机械手自动运行时不得手动在片盒中取片或放片、否则会造成基片和机械手损坏