5 6.曝,光、机5.6、1,曝光机的安装应符合下列规定.1、设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动,不得有振动 2，设备安装前应定制基座用来防振。安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平、并应用水平仪进行检测确认.3。激光光路及曝光光源必须安装防护门、罩等保护装置，4,激光光源与主设备接连的管路应无弯曲 5、设备应装配二级过滤和二级调压气阀 安装压缩空气时应先接入二级过滤阀，再接入二级调压阀 最后再接入设备 5、6,2,曝光机的调试及试运行应符合下列规定、1,应准备好光刻版，已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液、掩模版应有双面薄膜保护。并应置于版盒中 2。曝光系统应具有光强调节装置、光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定。不应大于2.5,3。应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置，选择，读入光罩、模式，机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上 4。打开曝光机汞灯预热30min后,应用紫外线测量仪测量承片台上、下，左,右.中五处的光刻强度，均匀性应优于。5.并应根据测量强度设置好光刻能量 5,准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻,光刻后应及时显影 6 应观察显影清洗后基片上的光刻图形.整个基片图形应均匀 无损伤、无连条.图形边缘应整齐、无锯齿和毛刺,