5、6、曝、光。机5.6,1 曝光机的安装应符合下列规定。1 设备搬运时应采用叉车结合气垫平稳移动 不得有振动，2、设备安装前应定制基座用来防振.安装时应通过反复调节四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平，并应用水平仪进行检测确认。3，激光光路及曝光光源必须安装防护门.罩等保护装置 4。激光光源与主设备接连的管路应无弯曲,5 设备应装配二级过滤和二级调压气阀、安装压缩空气时应先接入二级过滤阀.再接入二级调压阀，最后再接入设备。5 6,2 曝光机的调试及试运行应符合下列规定 1.应准备好光刻版 已均匀涂覆好光刻胶的待光刻基片及对应显影液 掩模版应有双面薄膜保护.并应置于版盒中。2。曝光系统应具有光强调节装置。光源调节应灵活可靠。曝光均匀性应随分辨率要求而定、不应大于2，5,3.应将带有光刻掩模版的版盒放入曝光机上光刻版盒卡槽位置，选择。读入光罩.模式,机械手可自动将光罩载入到光刻版平台上、4。打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上,下、左。右、中五处的光刻强度。均匀性应优于,5.并应根据测量强度设置好光刻能量 5,准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及时显影,6.应观察显影清洗后基片上的光刻图形 整个基片图形应均匀,无损伤。无连条，图形边缘应整齐,无锯齿和毛刺.