3 基本规定3.1、施工条件3。1.1 微组装设备安装前.洁净厂房应符合下列规定,1。应空态验收合格、净化空调系统应连续正常运行24h以上、2。温度宜为20.26.3 相对湿度宜为30.70。4。地坪承载能力应满足设备承载要求、5 净空高度应满足设备安装要求，6,厂房入口的人身净化设施应已启用。7,应具备设备搬入口 8，消防设施应已通过专项验收 可以启用,9,防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10.应有符合要求的电源,气源。水源和接地端子。11、应设置员工安全疏散通道、3，1,2。微组装设备安装应具备下列技术文件,1，设备安装平面图.2。设备装箱清单,3、设备制造商提供的设备安装，运行、维护技术文件及安装技术参数、3。1。3、进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证、特殊工种应按有关规定持证上岗,3,1。4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范、GB。50472的有关规定,3 1.5 施工用的机具应符合现行国家标准、微电子生产设备安装工程施工及验收规范。GB.50467的有关规定