3,基本规定3 1、施工条件3，1，1、微组装设备安装前，洁净厂房应符合下列规定。1,应空态验收合格,净化空调系统应连续正常运行24h以上、2。温度宜为20。26.3.相对湿度宜为30 70.4 地坪承载能力应满足设备承载要求.5、净空高度应满足设备安装要求、6.厂房入口的人身净化设施应已启用、7,应具备设备搬入口，8 消防设施应已通过专项验收、可以启用,9、防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收.10 应有符合要求的电源 气源.水源和接地端子,11.应设置员工安全疏散通道,3,1。2、微组装设备安装应具备下列技术文件，1,设备安装平面图、2.设备装箱清单。3。设备制造商提供的设备安装、运行 维护技术文件及安装技术参数，3 1，3,进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗，3、1.4，设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范、GB 50472的有关规定，3 1，5.施工用的机具应符合现行国家标准，微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB、50467的有关规定、