3.基本规定3，1。施工条件3 1，1.微组装设备安装前。洁净厂房应符合下列规定,1.应空态验收合格 净化空调系统应连续正常运行24h以上。2。温度宜为20。26。3、相对湿度宜为30 70、4。地坪承载能力应满足设备承载要求,5、净空高度应满足设备安装要求。6 厂房入口的人身净化设施应已启用.7、应具备设备搬入口、8、消防设施应已通过专项验收 可以启用 9,防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收 10。应有符合要求的电源、气源、水源和接地端子、11.应设置员工安全疏散通道、3、1、2,微组装设备安装应具备下列技术文件 1 设备安装平面图,2。设备装箱清单、3、设备制造商提供的设备安装,运行 维护技术文件及安装技术参数.3、1、3，进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证 特殊工种应按有关规定持证上岗，3.1.4.设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范.GB,50472的有关规定.3、1，5 施工用的机具应符合现行国家标准、微电子生产设备安装工程施工及验收规范、GB，50467的有关规定，