5、3。真空蒸发镀膜机5，3。2。本条规定了真空蒸发镀膜机的调试及试运行要求、6 应尽量延长真空泵的抽气时间、以便尽可能地抽除镀膜室内的残余气体。9、10.真空蒸发镀膜机按蒸发加热方式可分为电阻加热,电子束加热，电阻和电子束加热 感应加热、激光加热等 电子束蒸发是目前的主流技术、近年来随着技术的发展出现了离子束辅助蒸发技术,这两款是针对电子束蒸发镀膜设备来进行规定的。