微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 [附条文说明] GB51037-2014 建标库

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5 8 反应离子刻蚀机5，8。1,本条规定了反应离子刻蚀机的安装要求、1、为保证刻蚀均匀性，设备应安装在平整的地面上。承片台保持水平。2 一般排风指机械泵泵油的抽排、酸碱排风指刻蚀腔室有毒气体和生成物的排放,3.设备具有高压电，有一定的危险性.安装时需要装配一条可靠的接地线同时安装好专用的设备总电源空气开关.7。使用危险气体,在安装危险气体泄漏报警装置的同时.还应提供危险气体泄漏应急处理预案、5，8,2、本条规定了反应离子刻蚀机的调试及试运行要求.1 做掩模窗口的目的是为了把不需要刻蚀的地方保护起来 6,设备具备光学发射光谱法终点检测系统，能够在反应离子刻蚀过程中判断刻蚀终点.

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