7、3。声学扫描检测系统7，3,1、声学扫描检测系统的安装应配置抽水泵.30μm级过滤器.盛液容器底部液体应能彻底排干.7、3。2 声学扫描检测系统的调试及试运行应符合下列规定 1，应向盛液容器中加入无气泡的纯水、并应确认水深在规定范围内、2。应安装好CCD超声探头 输入正确的用户名和密码.进入程序初始化界面、3，在主操作界面检测各机械运动部件运行状态及运行范围、应全部达到要求、4,应将待测样品放入水槽的底部平台上。合理设置工艺参数并对样品分别完成B超扫描,C超扫描，TAMI扫描 相位扫描，获取清晰扫描图像，5。当使用线宽和间距为10μm的测试样件 100MHz探头进行扫描成像时。图像应能够清楚地分辨样品的线条.