5,4,化学气相淀积系统5,4 1。本条规定了化学气相淀积系统的安装要求.1.目前主流的化学气相淀积技术有常压化学气相淀积.低压化学气相淀积。等离子体增强化学气相淀积、金属氧化物化学气相淀积等，不同的淀积技术对工艺气体的组分要求有所不同,3。由于化学气相淀积系统工艺要使用到SiH4 PH4.SF6、CH4、CF6等易燃,易爆或对人体有毒的危险性气体,为保证设备使用安全和人身安全、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置.本款为强制性条款。设备安装人员必须严格执行，5，为了保证操作时的安全 机壳应良好接地.5，4。2.本条规定了化学气相淀积系统的调试及试运行要求。2.应尽量延长真空泵的抽气时间 以便尽可能地抽除炉体内的残余气体、8，不同的膜种类,如多晶硅.氧化硅。氮化硅等，其片内 片间、批间的均匀性、淀积速率有所不同。