7。工艺检测设备安装。调试及试运行7。1 一般规定7 1。1，微组装的工艺检测设备主要应包括飞针测试系统.声学扫描检测系统.3D光学测量仪,自动光学检查仪 激光测厚仪，X射线检查仪 芯片剪切力，引线拉力测试仪、7.1，2。飞针测试系统，声学扫描检测系统.3D光学测量仪.自动光学检查仪,X射线检查仪可在地面上安装。激光测厚仪.芯片剪切力 引线拉力测试仪宜在台面上放置，7 1.3、飞针测试系统，声学扫描检测系统应安装在7级净化的洁净间中.其他工艺检测设备可安装在8级净化的洁净间中，温度宜为18、25,相对湿度宜为40、60。