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4,11 低温共烧陶瓷烧结炉4 11 1、低温共烧陶瓷烧结炉的安装应符合下列规定、1。应通过调节地脚螺栓逐步调平载片台,2.排气管道应垂直放置,并应使其敞口罩覆盖住烧结炉的两个排气口,排气管道不得直接连接到烧结炉的排气口.4。11,2.低温共烧陶瓷烧结炉的调试及试运行应符合下列规定。1,空炉测试控温精度 温度均匀性时,应满足相关要求.设备超温报警及自动切断加热功能应运行正常、2 设定炉温应在30min内从25,升到300,在300、应保温2h 然后应在1h内降到25.3,运行烘炉程序时。载片台升降应平稳。各加热元件.温控仪及供 排风应工作正常,4、应编制典型低温共烧陶瓷烧结温度曲线程序。应在操作界面设置四路进气的预热温度、炉腔压力,气流量,5、应将准备好的低温共烧陶瓷生瓷块放置在载片台的烧结载板上,启动运行程序烧结并观察曲线跟踪情况,6 烧结过程中应随时检查进气预热温度及炉腔气压。气流量的控制.温度曲线跟踪等情况 应正常工作.异常时烧结炉应自动启动报警保护功能.7。烧成的低温共烧陶瓷基板应无裂损.翘曲,分层,起泡,掉皮等缺陷。

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