6、7。等离子清洗机6.7，1.等离子清洗机的安装应符合下列规定,1 设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上,并应配有衬垫。2、应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座,6。7,2,等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定,1、启动真空泵、运行时噪声。振动应符合要求、腔体真空度可在规定时间内降到规定值 2。箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品 3.接入各种工作气体、并应按设备的要求调节气压并试触发、电离时工作气体的颜色应符合要求，4 应设置清洗功率、清洗时间 清洗顺序。5,应使用不同的工作气体对样品进行清洗.再取出样品进行清洗效果检定 应满足要求,