6,7,等离子清洗机6，7。1 等离子清洗机的安装应符合下列规定,1,设备的真空泵应安装在稳定的地坪面上 并应配有衬垫 2、应根据设备对电源的要求设置相应的电源插座,6.7.2,等离子清洗机的调试及试运行应符合下列规定、1,启动真空泵。运行时噪声，振动应符合要求 腔体真空度可在规定时间内降到规定值。2.箱内应安装不同极性的承物架以放置试运行样品。3 接入各种工作气体、并应按设备的要求调节气压并试触发.电离时工作气体的颜色应符合要求.4 应设置清洗功率、清洗时间,清洗顺序.5。应使用不同的工作气体对样品进行清洗，再取出样品进行清洗效果检定，应满足要求。