6，4.共 晶，炉6。4。1 共晶炉的安装应符合下列规定。1。设备的真空泵应安置在稳定的基础面上，并应配有衬垫,2，冷水机应在主机侧面放置,3、根据设备要求气体管路应与设备接通，气体通入前应保证质量符合设备要求。4,应根据设备额定功率配置主机电源、6。4，2,共晶炉的调试及试运行应符合下列规定.1。启动真空泵.运行时噪声 振动应无异常 腔体真空度可在规定时间内降到规定值，2.冷水机腔体内应充入纯水 接通冷水机电源并启动水冷系统、水压应满足设备使用要求.3。在室温到最高温度间选取某一温度设定为炉温值进行加热.加热完成后应分别在加热板的九个固定点上用控温热偶测量温度并与设定值比较，允许偏差应为。5 4,设定最高温度 加热完成后测量实际值应能达到设定值、5.启动控制系统软件。并应设置气体压力 温度曲线、真空度、加热电流，观察显示器上的实时监控程序时 应能正常运行共晶工艺进程.