5.7、显，影 台5 7 1。显影台的安装应符合下列规定 1 搬运时应防撞防抖.不得直接拖动,2 应通过调节四个地脚高度 使得真空吸盘呈水平状态 并应用水平仪进行测试和确认，3.显影、清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接 4 应接入压缩空气.氮气及真空三种气路.冲洗用纯水压力应为0 13MPa，0、35MPa，5、设备的排液管必须接入废液管道，废液管道必须通向废液处理池 6.存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液.7、应核查设备的氮气欠压保护，真空保护、设备急停报警功能是否正常.承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa.5 7 2.显影台的调试及试运行应符合下列规定.1。应先连接好显影液供应管道。去离子水管道 2 开机后设置好工艺液体的温度,液体温度应在10 30、间可调，应调节好喷头喷溅压力,其调节范围应在0.14，7、104Pa间 3.应设定好真空口及盘旋转速度。显影时间 漂洗时间.冲洗时间以及主轴转速，并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤、4，应将已曝光的基片放入片盒。然后将片盒放入片盒卡槽位置.5，应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的，启动，按钮 系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作,6。进行显影，漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护，工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干、7。机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片。8.设备运行时应无振动和噪声，9.设备显影,漂洗后应进行烘干处理。温度控制范围宜在60、180、控温精度应为，2。10。结束后应对基片进行目检,整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥、应无微粒 污点或瑕疵、显影合格的基片应均匀.线条应整齐、应无残胶,无毛刺.