5 7,显，影、台5、7，1，显影台的安装应符合下列规定、1 搬运时应防撞防抖，不得直接拖动。2 应通过调节四个地脚高度、使得真空吸盘呈水平状态，并应用水平仪进行测试和确认。3。显影、清洗腔的排风系统应与厂房内的排风系统相连接,4、应接入压缩空气.氮气及真空三种气路 冲洗用纯水压力应为0.13MPa 0，35MPa、5 设备的排液管必须接入废液管道 废液管道必须通向废液处理池，6.存储显影液和漂洗液的储液罐及自动喷溅系统安装好后不应漏液、7。应核查设备的氮气欠压保护。真空保护,设备急停报警功能是否正常,承片台吸附时的真空压力值应低于35kPa.5.7。2.显影台的调试及试运行应符合下列规定，1 应先连接好显影液供应管道，去离子水管道,2 开机后设置好工艺液体的温度，液体温度应在10.30。间可调.应调节好喷头喷溅压力 其调节范围应在0、14、7 104Pa间。3 应设定好真空口及盘旋转速度,显影时间,漂洗时间。冲洗时间以及主轴转速,并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤,4 应将已曝光的基片放入片盒 然后将片盒放入片盒卡槽位置.5 应选择要运行的程序并单击屏幕主运行界面上的。启动。按钮。系统可按设定的参数和工艺步骤进行自动显影,清洗操作、6、进行显影、漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护.工艺结束后应自动进行氮气吹干和高速甩干 7,机械手自动进行取片和收片时不得手动在片盒中取片或放片、8、设备运行时应无振动和噪声。9 设备显影、漂洗后应进行烘干处理.温度控制范围宜在60 180.控温精度应为。2 10、结束后应对基片进行目检、整个基片表面应冲洗干净并且完全干燥 应无微粒 污点或瑕疵。显影合格的基片应均匀,线条应整齐,应无残胶。无毛刺，