5、5，旋涂及热板系统5 5、1,旋涂及热板系统的安装应符合下列规定.1，应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平、2，应设置与工艺线排风管道口相连接的接口 3，高速旋盘上方应安装可靠的防护罩.4 工作台应设有减振装置 5.自动滴胶系统应由专业人员安装好.储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6 断电保护装置应运行正常.5 5、2.旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定,1、应准备好光刻胶，基片等材料及必要的工具、2 待旋涂基片平整度应小于0，05mm，3.运行设备 设备自动开合旋涂盖功能 涂胶单元真空吸附功能，旋转涂胶功能.顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应正常.涂胶台应润滑良好。4。应将吸管插入光刻胶瓶中,并将光刻胶放入设备自带化学品柜内.并应设置好胶阀压力.滴胶时间、旋涂转速，旋涂时间和热板温度,5,应分别设定烘烤温度为60 120 和180 待温度稳定后、应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴 Y轴相交的四点等五处进行温度测量,然后计算平均值，所测各点的温度值与平均值相比较时 允许偏差应为、1 5。6，应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作,其他参数应保持一致，每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤。7.应用膜厚测量仪测量基片的上 下。左 右,中五个点的光刻胶厚度.片内和片间厚度允许偏差应为,5，