5，5,旋涂及热板系统5，5。1 旋涂及热板系统的安装应符合下列规定 1.应调节四个地脚高度使匀胶承片台水平。2 应设置与工艺线排风管道口相连接的接口.3。高速旋盘上方应安装可靠的防护罩，4、工作台应设有减振装置。5 自动滴胶系统应由专业人员安装好.储胶罐的接口密闭情况以及胶阀的气压应符合要求,6。断电保护装置应运行正常 5.5。2,旋涂及热板系统的调试及试运行应符合下列规定.1，应准备好光刻胶、基片等材料及必要的工具、2。待旋涂基片平整度应小于0、05mm.3。运行设备,设备自动开合旋涂盖功能，涂胶单元真空吸附功能，旋转涂胶功能。顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应正常、涂胶台应润滑良好,4.应将吸管插入光刻胶瓶中、并将光刻胶放入设备自带化学品柜内、并应设置好胶阀压力 滴胶时间、旋涂转速。旋涂时间和热板温度，5.应分别设定烘烤温度为60.120 和180.待温度稳定后、应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X轴，Y轴相交的四点等五处进行温度测量,然后计算平均值。所测各点的温度值与平均值相比较时，允许偏差应为,1,5，6.应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作 其他参数应保持一致.每个基片旋涂结束后应放到热板台上烘烤,7.应用膜厚测量仪测量基片的上 下.左、右.中五个点的光刻胶厚度 片内和片间厚度允许偏差应为,5，